化学气相沉积技术的研究及在无机材料制备中的应用进展(待续)

？本文论述了化学气相沉积（ｃｖｄ）技术的基本原理、特点及影响其过程的因素；对近期发展起来的、具有广泛应用前景的几种典型的ｃｖｄ方法；热灯丝ｃｖｄ，高频及微波等离子体ｃｖｄ，激光ｃｖｄ，金属有机化合物ｃｖｄ的特点进行了阐述。