热处理对氧化钒薄膜成分和形貌的影响

？二氧化钒薄膜特殊的可逆相变特性，决定其有着巨大的应用潜能，由于钒与氧结合可以形成几十种氧化物，因此制得严格化学配比的二氧化钒薄膜始终是一个难点，目前国际上制备此薄膜的方法虽多样化，但都不成熟，实验采用两步工艺，先用射频磁控溅射法制备高纯度的五氧化二钒薄膜，再在n2保护下进行后续热处理，得到二氧化钒含量较高的氧化钒薄膜，并对热处理前后薄膜的成分、形貌进行xrd，xps，sem，afm分析，得出热处理对氧化钒薄膜的成分和形貌的影响。