%0 Journal Article
%T 热处理对氧化钒薄膜成分和形貌的影响
%A 宋晶晶
%A 张津
%A 孙智富
%A 刘成龙
%A 孙健
%J 武汉理工大学学报
%D 2009
%X ？二氧化钒薄膜特殊的可逆相变特性，决定其有着巨大的应用潜能，由于钒与氧结合可以形成几十种氧化物，因此制得严格化学配比的二氧化钒薄膜始终是一个难点，目前国际上制备此薄膜的方法虽多样化，但都不成熟，实验采用两步工艺，先用射频磁控溅射法制备高纯度的五氧化二钒薄膜，再在n2保护下进行后续热处理，得到二氧化钒含量较高的氧化钒薄膜，并对热处理前后薄膜的成分、形貌进行xrd，xps，sem，afm分析，得出热处理对氧化钒薄膜的成分和形貌的影响。
%K v2o5薄膜
%K vo2薄膜
%K 热处理
%U http://www.whlgdxxb.com.cn//qikan/Cpaper/zhaiyao.asp?bsid=31140