pcvd法沉积ti(cn)涂层及其抗氧化性研究

？应用pcvd技术,以金属有机物tpt作钛源在h13模具钢表面沉积ti(cn)涂层,研究了不同工艺参数对涂层组织和性能的影响,并对涂层的抗氧化性进行了试验。结果表明,采用适当的沉积温度、压力及氮气流量,可以在h13钢表面得到以ti(cn)为主的致密涂层,在沉积温度500℃时达到最高硬度hv1760,涂层在600℃以下具有良好的抗氧化性。