%0 Journal Article
%T pcvd法沉积ti(cn)涂层及其抗氧化性研究
%A 潘应君
%J 武汉理工大学学报
%D 2004
%X ？应用pcvd技术,以金属有机物tpt作钛源在h13模具钢表面沉积ti(cn)涂层,研究了不同工艺参数对涂层组织和性能的影响,并对涂层的抗氧化性进行了试验。结果表明,采用适当的沉积温度、压力及氮气流量,可以在h13钢表面得到以ti(cn)为主的致密涂层,在沉积温度500℃时达到最高硬度hv1760,涂层在600℃以下具有良好的抗氧化性。
%K pcvd
%K ti(cn)涂层
%K 抗氧化性
%U http://www.whlgdxxb.com.cn//qikan/Cpaper/zhaiyao.asp?bsid=24074