磁控溅射氮化铝薄膜取向生长工艺研究

？氮化铝薄膜取向性直接影响到薄膜的压电特性和声波速度，是薄膜体声波谐振器/滤波器工艺过程中最重要的环节之一。对aln薄膜材料的反应磁控溅射沉积工艺进行了研究，通过对aln薄膜的取向性分析及其与工艺条件的比较，优化了取向性aln薄膜的生长工艺条件，制备出了高取向和高致密的aln薄膜。