柱面衍射光栅小转角精密测量方法的研究

？为了实现小转角测量，采用柱面全息衍射光栅干涉型的方法。此方法用光学机械结构直接保证了2个相差90°的信号，同时在单一的光栅上出现的是单一光扫描场。理论分析证明此测量系统具有包容结构误差性能好的特点，当测量范围±5.11°时，测量精度可达0.199″。