%0 Journal Article
%T 柱面衍射光栅小转角精密测量方法的研究
%A 张新宝
%A 杨增辉
%A 何韦均
%J 武汉理工大学学报
%D 2010
%X ？为了实现小转角测量，采用柱面全息衍射光栅干涉型的方法。此方法用光学机械结构直接保证了2个相差90°的信号，同时在单一的光栅上出现的是单一光扫描场。理论分析证明此测量系统具有包容结构误差性能好的特点，当测量范围±5.11°时，测量精度可达0.199″。
%K 全息衍射光栅
%K 〓转角
%K 〓光干涉
%K 〓精密测量
%K 〓柱面
%U http://www.whlgdxxb.com.cn//qikan/Cpaper/zhaiyao.asp?bsid=30210