氮分压对离子束溅射镍铬合金薄膜的影响

？研究了氮气分压对薄膜沉积速率、表面形貌、电阻温度系数(tcr)以及电阻率的影响。利用原子力显微镜表征了薄膜的表面形貌,用alpha-stepiq台阶仪和四探针测量了薄膜的厚度和方块电阻。结果表明:薄膜沉积速率随氮气分压增大而减小;热处理使薄膜颗粒尺寸均匀,电阻率减小,电阻迟滞减小且tcr由负值变为正值。