%0 Journal Article
%T 氮分压对离子束溅射镍铬合金薄膜的影响
%A 田莉
%J 武汉理工大学学报
%D 2006
%X ？研究了氮气分压对薄膜沉积速率、表面形貌、电阻温度系数(tcr)以及电阻率的影响。利用原子力显微镜表征了薄膜的表面形貌,用alpha-stepiq台阶仪和四探针测量了薄膜的厚度和方块电阻。结果表明:薄膜沉积速率随氮气分压增大而减小;热处理使薄膜颗粒尺寸均匀,电阻率减小,电阻迟滞减小且tcr由负值变为正值。
%K nicr薄膜
%K 表面形貌
%K 电阻率
%K tcr
%U http://www.whlgdxxb.com.cn//qikan/Cpaper/zhaiyao.asp?bsid=25151