热处理对氧化钒薄膜物相的影响

？二氧化钒薄膜特殊的相变性能，决定其有着巨大的应用潜能，但其制备始终是一个难点，实验首先利用反应磁控溅射的方法制得高纯度的五氧化二钒薄膜，然后通过后续热处理得到了二氧化钒,对转化的可能性进行了热力学分析，同时利用xrd对不同温度热处理条件下所获得的薄膜进行了分析。