%0 Journal Article
%T 热处理对氧化钒薄膜物相的影响
%A 张津
%A 宋晶晶
%A 孙智富
%A 刘成龙
%A 孙健
%J 武汉理工大学学报
%D 2009
%X ？二氧化钒薄膜特殊的相变性能，决定其有着巨大的应用潜能，但其制备始终是一个难点，实验首先利用反应磁控溅射的方法制得高纯度的五氧化二钒薄膜，然后通过后续热处理得到了二氧化钒,对转化的可能性进行了热力学分析，同时利用xrd对不同温度热处理条件下所获得的薄膜进行了分析。
%K 五氧化二钒薄膜
%K 〓二氧化钒薄膜
%K 〓热处理
%U http://www.whlgdxxb.com.cn//qikan/Cpaper/zhaiyao.asp?bsid=31235