采用mod工艺制备pzt铁电薄膜及其性能

研究了采用金属有机化合物热分解(mod)法制备锆钛酸铅pb(zr0.52ti0.48)o3铁电薄膜的工艺及pzt薄膜的介电性能.利用xrd分析了薄膜的结晶过程,制得具有钙钛矿结构的pzt薄膜,铂电极有利于钙钛矿相的形成.薄膜的介电温谱研究结果表明,薄膜的居里温度约为430℃(1khz)