%0 Journal Article
%T 采用mod工艺制备pzt铁电薄膜及其性能
%A 张之圣
%A 李霄云
%A 陈金亭
%A 刘如净
%J 天津大学学报(自然科学与工程技术版)
%P 378-381
%D 2000
%X 研究了采用金属有机化合物热分解(mod)法制备锆钛酸铅pb(zr0.52ti0.48)o3铁电薄膜的工艺及pzt薄膜的介电性能.利用xrd分析了薄膜的结晶过程,制得具有钙钛矿结构的pzt薄膜,铂电极有利于钙钛矿相的形成.薄膜的介电温谱研究结果表明,薄膜的居里温度约为430℃(1khz)
%K 金属有机化合物
%K 锆钛酸铅
%K 铁电薄膜
%U http://xbzrb.tjujournals.com/oa/DArticle.aspx?type=view&id=200003027