？单晶α-al2o3镜面加工工艺研究

？通过对单晶α-al2o3磨削、研磨、抛光工艺中的设备、工具、辅料、清洗、环境等方面的研究，优化了加工工艺，使晶片表面粗糙度降低到0.4mm以下，成品率由94%提高到99.5%，加工成本降低了30%。