%0 Journal Article
%T ？单晶α-al2o3镜面加工工艺研究
%A ？周海
%A 周来水
%J 天津大学学报(自然科学与工程技术版)
%P 31-34
%D 2002
%X ？通过对单晶α-al2o3磨削、研磨、抛光工艺中的设备、工具、辅料、清洗、环境等方面的研究，优化了加工工艺，使晶片表面粗糙度降低到0.4mm以下，成品率由94%提高到99.5%，加工成本降低了30%。
%K 单晶α-al2o3
%K 镜面加工
%K 表面质量
%K 超声波清洗
%U http://xbzrb.tjujournals.com/oa/DArticle.aspx?type=view&id=200201008