lsaws技术检测超薄low-k材料机械特性的匹配算法

激光激发超声表面波法(lsaws)是一种无损检测技术，其理论依据为表面波在分层材料中传播时发生频散．在检测超薄low-k薄膜材料机械特性时，lsaws方法在准确性、快速等方面比传统的纳米压痕法具有明显优势．对大量的实验数据进行了细致分析，得到了频率低于200mhz的表面波频散曲线的特殊规律，并在此基础上建立了一种基于二分法的快速查找算法，实现了理论与实验频散曲线的快速匹配．超声表面波技术对超薄low-k膜层材料的弹性模量进行在线检测时，采用快速匹配算法可以显著提高检测速度．