%0 Journal Article
%T lsaws技术检测超薄low-k材料机械特性的匹配算法
%A 肖夏
%A 刘亚亮
%A 付绍晨
%A 单兴锰
%J 天津大学学报(自然科学与工程技术版)
%P 849-853
%D 2010
%X 激光激发超声表面波法(lsaws)是一种无损检测技术，其理论依据为表面波在分层材料中传播时发生频散．在检测超薄low-k薄膜材料机械特性时，lsaws方法在准确性、快速等方面比传统的纳米压痕法具有明显优势．对大量的实验数据进行了细致分析，得到了频率低于200mhz的表面波频散曲线的特殊规律，并在此基础上建立了一种基于二分法的快速查找算法，实现了理论与实验频散曲线的快速匹配．超声表面波技术对超薄low-k膜层材料的弹性模量进行在线检测时，采用快速匹配算法可以显著提高检测速度．
%K 超声表面波
%K 无损检测
%K 快速匹配算法
%K 超薄膜层材料
%K 机械特性
%U http://xbzrb.tjujournals.com/oa/DArticle.aspx?type=view&id=201010001