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ISSN: 2333-9721
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氮化铝纳米锥的低温生长与场发射性能

, PP. 1719-1724

Keywords: 氮化铝,低温生长,化学气相沉积,场发射,纳米锥

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Abstract:

考察了在600℃以下通过反应alcl3+nh3→aln+3hcl制备aln纳米锥的规律,结果表明在500℃时仍可获得aln纳米锥,当温度为480℃时则无氮化物生成。场发射测试显示在500~600℃温区内制得的aln纳米锥的开启电场处于14.2~20v·μm-1范围,且随制备温度升高而减小。结果表明aln纳米锥可在低温条件下获得,且具有较好的场发射性能。

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