gan薄膜的两步法制备及其物性转变的研究

本实验通过水浴加热和简单化学气相氨化两步法,在旋涂有zno的si衬底上成功合成了由排列整齐纺锤体形貌的gaooh构成的薄膜,然后在950℃下对样品进行氨化得到由排列整齐纺锤体组成的gan薄膜。然后对氨化前后样品的形貌,结构和光学性能分别通过fesem、eds、tem、xrd和pl谱进行了表征。结果表明:水热生成的gaooh薄膜是由纺锤体形状gaooh紧密排列形成,该纺锤体形状gaooh有直径大约600nm,长约为1.5～2μm。氨化前后样品的形貌没发生太大的变化;但晶体结构由正交晶系相gaooh转变为六方纤锌矿gan;而且发光峰也由较宽的绿光峰转变为中心为365nm的蓝光峰,这主要是由于样品由正交晶系相gaooh转变为六方纤锌矿gan引起的。最后对排列整齐的锤体形构成的gaooh薄膜的形成机理以及gaooh向gan的转变过程发生的化学反应做了简单的探讨和分析。