%0 Journal Article
%T gan薄膜的两步法制备及其物性转变的研究
%A 梁建？
%A 刘海瑞？
%A 王晓宁？
%A 董海亮？
%A 贾伟？
%A 贾虎生？
%A 许并社？
%J 无机化学学报
%P 1019-1024
%D 2013
%X 本实验通过水浴加热和简单化学气相氨化两步法,在旋涂有zno的si衬底上成功合成了由排列整齐纺锤体形貌的gaooh构成的薄膜,然后在950℃下对样品进行氨化得到由排列整齐纺锤体组成的gan薄膜。然后对氨化前后样品的形貌,结构和光学性能分别通过fesem、eds、tem、xrd和pl谱进行了表征。结果表明:水热生成的gaooh薄膜是由纺锤体形状gaooh紧密排列形成,该纺锤体形状gaooh有直径大约600nm,长约为1.5～2μm。氨化前后样品的形貌没发生太大的变化;但晶体结构由正交晶系相gaooh转变为六方纤锌矿gan;而且发光峰也由较宽的绿光峰转变为中心为365nm的蓝光峰,这主要是由于样品由正交晶系相gaooh转变为六方纤锌矿gan引起的。最后对排列整齐的锤体形构成的gaooh薄膜的形成机理以及gaooh向gan的转变过程发生的化学反应做了简单的探讨和分析。
%K gaooh薄膜
%K gan薄膜
%K 水热方法
%K 氨化
%U http://www.wjhxxb.cn/wjhxxbcn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=20130521&flag=1