自组装制备二氧化铪图案化薄膜

采用短波紫外光(uv)在十八烷基三氯硅烷(ots)自组装单分子层刻蚀不同的微型图案，利用液相自组装技术在ots模板表面沉积hfo2图案化薄膜。通过xrd、afm、sem、eds等测试手段对ots膜和hfo2薄膜进行表征，结果表明：以ots为模板利用液相自组装技术成功制备出边缘轮廓清晰、粗糙度较小、条纹宽度为10μm的立方晶型的hfo2图案化薄膜。