%0 Journal Article
%T 自组装制备二氧化铪图案化薄膜
%A 谈国强？
%A 贺中亮？
%A 苗鸿雁？
%A 刘　剑？
%A 夏　傲？
%A 娄晶晶？
%J 无机化学学报
%P 1853-1857
%D 2009
%X 采用短波紫外光(uv)在十八烷基三氯硅烷(ots)自组装单分子层刻蚀不同的微型图案，利用液相自组装技术在ots模板表面沉积hfo2图案化薄膜。通过xrd、afm、sem、eds等测试手段对ots膜和hfo2薄膜进行表征，结果表明：以ots为模板利用液相自组装技术成功制备出边缘轮廓清晰、粗糙度较小、条纹宽度为10μm的立方晶型的hfo2图案化薄膜。
%K ots-sams
%K 图案化
%K hfo2薄膜
%U http://www.wjhxxb.cn/wjhxxbcn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=20091025&flag=1