用xps和xaes分析电化学沉积的dlc膜

采用电化学沉积方法，以甲醇溶剂作碳源，直流电压作用下在单晶硅表面沉积得到碳薄膜。通过研究石墨、金刚石和样品薄膜的xps和xaes谱图特征，证明了此方法沉积得到的是dlc薄膜;利用曲线拟合技术在c1s电子能谱图中拟合出sp3峰与sp2峰，并计算出样品薄膜中sp3碳的相对含量为55%;研究石墨、金刚石和样品薄膜的一阶微分xaes谱图，用线性插入法估算出样品薄膜中sp3碳的相对含量为60%。