%0 Journal Article %T 用xps和xaes分析电化学沉积的dlc膜 %A 阎兴斌? %A 徐洮? %A 王博? %A 杨生荣? %J 无机化学学报 %P 569-573 %D 2003 %X 采用电化学沉积方法,以甲醇溶剂作碳源,直流电压作用下在单晶硅表面沉积得到碳薄膜。通过研究石墨、金刚石和样品薄膜的xps和xaes谱图特征,证明了此方法沉积得到的是dlc薄膜;利用曲线拟合技术在c1s电子能谱图中拟合出sp3峰与sp2峰,并计算出样品薄膜中sp3碳的相对含量为55%;研究石墨、金刚石和样品薄膜的一阶微分xaes谱图,用线性插入法估算出样品薄膜中sp3碳的相对含量为60%。 %K 类金刚石碳膜 %K 电化学沉积 %K xps %K xaes %U http://www.wjhxxb.cn/wjhxxbcn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=20030602&flag=1