%0 Journal Article
%T 用xps和xaes分析电化学沉积的dlc膜
%A 阎兴斌？
%A 徐洮？
%A 王博？
%A 杨生荣？
%J 无机化学学报
%P 569-573
%D 2003
%X 采用电化学沉积方法，以甲醇溶剂作碳源，直流电压作用下在单晶硅表面沉积得到碳薄膜。通过研究石墨、金刚石和样品薄膜的xps和xaes谱图特征，证明了此方法沉积得到的是dlc薄膜;利用曲线拟合技术在c1s电子能谱图中拟合出sp3峰与sp2峰，并计算出样品薄膜中sp3碳的相对含量为55%;研究石墨、金刚石和样品薄膜的一阶微分xaes谱图，用线性插入法估算出样品薄膜中sp3碳的相对含量为60%。
%K 类金刚石碳膜
%K 电化学沉积
%K xps
%K xaes
%U http://www.wjhxxb.cn/wjhxxbcn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=20030602&flag=1