lafeo3纳米晶薄膜及其气敏特性的研究

本文采用溶胶-凝胶方法,经过550℃、1小时的固相反应,得到粒径为40～45nm,均匀性良好的lafeo3纳米晶薄膜。将这一成膜技术与集成电路平面工艺相结合,首次研制出了ncf-osfet气敏元件,它对乙醇具有较高的灵敏度和良好的选择性。