%0 Journal Article
%T lafeo3纳米晶薄膜及其气敏特性的研究
%A 赵善麒？
%A 才宏？
%A 彭作岩？
%A 赵纯？
%A 徐宝琨？
%A 赵慕愚？
%A 邢建力？
%J 无机化学学报
%P 409-412
%D 1994
%X 本文采用溶胶-凝胶方法,经过550℃、1小时的固相反应,得到粒径为40～45nm,均匀性良好的lafeo3纳米晶薄膜。将这一成膜技术与集成电路平面工艺相结合,首次研制出了ncf-osfet气敏元件,它对乙醇具有较高的灵敏度和良好的选择性。
%K lafeo3
%K 溶胶—凝胶法
%K 纳米晶薄膜
%K mos场效应晶体管
%K 气敏元件
%U http://www.wjhxxb.cn/wjhxxbcn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=19940413&flag=1