微型平面式气体火花开关的设计和制作

？基于表面微加工技术，设计并制作了一种微型平面式气体火花开关，其尺寸仅为1.5cm×0.5cm，对制作的微型火花开关进行电路测试，得到其输出电流峰值约为3450a，上升时间164ns。结合实验结果,对开关器件进行电路系统仿真并提取参数，得到系统电感为26.5nh，电阻为0.066ω，与传统机械结构的立体式火花开关相比，器件参数得到显著优化。