%0 Journal Article
%T 微型平面式气体火花开关的设计和制作
%A 周镇威
%A 杨卓青
%A 丁桂甫
%A 陆闻静
%A 沈慧
%J 强激光与粒子束
%P 1256-1260
%D 2012
%X ？基于表面微加工技术，设计并制作了一种微型平面式气体火花开关，其尺寸仅为1.5cm×0.5cm，对制作的微型火花开关进行电路测试，得到其输出电流峰值约为3450a，上升时间164ns。结合实验结果,对开关器件进行电路系统仿真并提取参数，得到系统电感为26.5nh，电阻为0.066ω，与传统机械结构的立体式火花开关相比，器件参数得到显著优化。
%K 火花隙开关
%K 脉冲功率
%K 微型平面化
%K 微机电集成制造
%U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract6190.shtml