准分子激光光束均匀性的评价指标研究

？详细研究了准分子激光光束均匀性的各项评价指标，加工窗口描述了加工任务本身对光束均匀度的要求；能量分数回答了具体加工窗口即均匀度要求下的能量利用率问题；平顶因子则描述了整个光斑能量分布范围内的均匀性问题。利用激光波面分析仪对不同均匀器所获得的均匀光束进行评价比较，蝇眼透镜均匀器能量利用率高，整个光斑内的均匀效果好，但最佳均匀截面的位置动态范围小；组合棱镜均匀器均匀截面动态范围大，但整体均匀效量较差。