%0 Journal Article
%T 准分子激光光束均匀性的评价指标研究
%A 李红霞
%A 楼祺洪
%A 叶震寰
%A 董景星
%A 魏运荣
%A 凌磊
%J 强激光与粒子束
%P 0-0
%D 2004
%X ？详细研究了准分子激光光束均匀性的各项评价指标，加工窗口描述了加工任务本身对光束均匀度的要求；能量分数回答了具体加工窗口即均匀度要求下的能量利用率问题；平顶因子则描述了整个光斑能量分布范围内的均匀性问题。利用激光波面分析仪对不同均匀器所获得的均匀光束进行评价比较，蝇眼透镜均匀器能量利用率高，整个光斑内的均匀效果好，但最佳均匀截面的位置动态范围小；组合棱镜均匀器均匀截面动态范围大，但整体均匀效量较差。
%K 准分子激光
%K 光束均匀性
%K 加工窗口
%K 平顶因子
%U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract856.shtml