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Keywords: 微波等离子体,薄膜制备,离子束刻蚀,掺杂纳米金属粉末,表面包覆改性
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?为了提高icf精密制靶的质量,提出用微波等离子体(mp)技术,包括等离子体薄膜制备、等离子体反应性离子束刻蚀、聚焦离子束刻蚀、掺杂纳米金属粉末制备和掺杂纳米金属粉末的表面包覆改性等技术,去加以改进和解决。此方法与其它成膜技术相结合,在icf精密制靶中得到广泛应用。
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