%0 Journal Article
%T 微波等离子体技术在icf制靶中的应用
%A 张继成
%A 吴卫东
%A 唐永建
%J 强激光与粒子束
%P 0-0
%D 2004
%X ？为了提高icf精密制靶的质量，提出用微波等离子体（mp）技术，包括等离子体薄膜制备、等离子体反应性离子束刻蚀、聚焦离子束刻蚀、掺杂纳米金属粉末制备和掺杂纳米金属粉末的表面包覆改性等技术，去加以改进和解决。此方法与其它成膜技术相结合，在icf精密制靶中得到广泛应用。
%K 微波等离子体
%K 薄膜制备
%K 离子束刻蚀
%K 掺杂纳米金属粉末
%K 表面包覆改性
%U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract572.shtml