大口径光学元件波前调制psd模拟分析

？使用psd作为大口径光学元件表面加工质量的评价参数，针对不同的波前调制进行了初步的模拟计算，得到了不同调制频率和不同调制深度情况下的psd曲线变化情况。当调制频率不同时，psd曲线的突变部分会发生相应的频移，调制频率高则突变发生在空间频率较高的频段，同时psd峰值不变。相对应调制深度不同时，psd曲线的突变部份峰值发生变化，调制深度大则峰值大，与此同时峰值出现的位置不会发生变化。计算和分析结果表明psd分析结果能够在频率域反应出元件表面受到的不同程度的调制信息。