%0 Journal Article %T 大口径光学元件波前调制psd模拟分析 %A 张蓉竹 %A 杨春林 %A 许乔 %A 张彬 %A 蔡邦维 %J 强激光与粒子束 %P 0-0 %D 2004 %X ?使用psd作为大口径光学元件表面加工质量的评价参数,针对不同的波前调制进行了初步的模拟计算,得到了不同调制频率和不同调制深度情况下的psd曲线变化情况。当调制频率不同时,psd曲线的突变部分会发生相应的频移,调制频率高则突变发生在空间频率较高的频段,同时psd峰值不变。相对应调制深度不同时,psd曲线的突变部份峰值发生变化,调制深度大则峰值大,与此同时峰值出现的位置不会发生变化。计算和分析结果表明psd分析结果能够在频率域反应出元件表面受到的不同程度的调制信息。 %K psd曲线 %K 波前调制 %K 调制深度 %K 调制频率 %U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract571.shtml