基于硅微加工技术的新型变形反射镜

？给出了一种基于硅微加工技术的新型变形反射镜的设计和加工方法。变形反射镜镜面主体是由一定厚度的硅膜构成，硅膜上表面溅射有一层ti/au，背面有一7×7阵列的台柱与之相连，台柱下方是对应的驱动电极。当给电极施加电压时，产生的静电力就会拉动台柱向下运动，从而使相应的镜面部分发生变形；通过控制通电电极的位置及电压，就可获得特定的镜面形状。在变形反射镜的加工工序中采用浅腐蚀形成键合台，采用深腐蚀加工出台柱。并采用<110>条补偿图形对台柱的凸角进行补偿，在0.2mpa气压下进行键合，最后成功研制出有效反射面积为30mm×30mm，拥有49个静电驱动单元的变形反射镜。