%0 Journal Article
%T 基于硅微加工技术的新型变形反射镜
%A 余洪斌
%A 陈海清
%A 张大成
%A 竺子民
%A 李婷
%J 强激光与粒子束
%P 0-0
%D 2004
%X ？给出了一种基于硅微加工技术的新型变形反射镜的设计和加工方法。变形反射镜镜面主体是由一定厚度的硅膜构成，硅膜上表面溅射有一层ti/au，背面有一7×7阵列的台柱与之相连，台柱下方是对应的驱动电极。当给电极施加电压时，产生的静电力就会拉动台柱向下运动，从而使相应的镜面部分发生变形；通过控制通电电极的位置及电压，就可获得特定的镜面形状。在变形反射镜的加工工序中采用浅腐蚀形成键合台，采用深腐蚀加工出台柱。并采用<110>条补偿图形对台柱的凸角进行补偿，在0.2mpa气压下进行键合，最后成功研制出有效反射面积为30mm×30mm，拥有49个静电驱动单元的变形反射镜。
%K 变形反射镜
%K 体微加工
%K 静电驱动
%K 凸角补偿
%K 阳极键合
%U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract365.shtml