等离子体尺寸对放电极紫外光源影响

？计算了放电等离子体极紫外光刻光源中，不同等离子体长度条件下的收集效率，实验上研究了等离子体长度对xe气放电极紫外辐射的影响。结合本系统光学收集系统设计参数和理论计算结果，给出了不同等离子体长度条件下中间焦点处13.5nm（2%带宽）光功率。结果表明等离子体长度为3~6mm时毛细管光源中间焦点光功率和尺寸最优。