%0 Journal Article
%T 等离子体尺寸对放电极紫外光源影响
%A 赵永蓬
%A 徐强
%A 李琦
%A 王骐
%J 强激光与粒子束
%P 2631-2635
%D 2013
%X ？计算了放电等离子体极紫外光刻光源中，不同等离子体长度条件下的收集效率，实验上研究了等离子体长度对xe气放电极紫外辐射的影响。结合本系统光学收集系统设计参数和理论计算结果，给出了不同等离子体长度条件下中间焦点处13.5nm（2%带宽）光功率。结果表明等离子体长度为3~6mm时毛细管光源中间焦点光功率和尺寸最优。
%K 极紫外光刻光源
%K 毛细管放电
%K xe等离子体
%K 13.5nm辐射
%K z箍缩
%U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract8136.shtml