横向电场下的类金刚石薄膜激光损伤

？？类金刚石（dlc）薄膜在红外区有很高的透过率，但激光损伤阈值低，严重限制了其应用领域。采用直接在dlc薄膜上沉积ti电极，基于激光损伤阈值（lidt）测试平台，用1-on-1零几率损伤法，研究了在不同偏置电场下dlc薄膜损伤阈值及损伤形貌的变化。发现电场强度从0增加到700v/cm，损伤阈值明显增大；进一步增大偏置电场，损伤阈值相对不变。分析认为偏置电场改变了激光辐照dlc薄膜区域的光生载流子漂移速度，减小了dlc薄膜的局部热累积，减缓了薄膜的石墨化进程，提高了dlc薄膜的抗激光损伤阈值。