%0 Journal Article %T 横向电场下的类金刚石薄膜激光损伤 %A 吴慎将 %A 王楠 %A 苏俊宏 %A 徐均琪 %A 葛锦蔓 %A 刘斌 %A 郭淑玲 %J 强激光与粒子束 %D 2015 %X ??类金刚石(dlc)薄膜在红外区有很高的透过率,但激光损伤阈值低,严重限制了其应用领域。采用直接在dlc薄膜上沉积ti电极,基于激光损伤阈值(lidt)测试平台,用1-on-1零几率损伤法,研究了在不同偏置电场下dlc薄膜损伤阈值及损伤形貌的变化。发现电场强度从0增加到700v/cm,损伤阈值明显增大;进一步增大偏置电场,损伤阈值相对不变。分析认为偏置电场改变了激光辐照dlc薄膜区域的光生载流子漂移速度,减小了dlc薄膜的局部热累积,减缓了薄膜的石墨化进程,提高了dlc薄膜的抗激光损伤阈值。 %K 类金刚石薄膜 %K 激光损伤阈值 %K 损伤形貌 %K 偏置电场 %K 石墨化 %U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract10712.shtml