基于白光频域干涉的大台阶高度测量方法

？基于白光频域干涉的基本原理，提出了一种可实现高分辨率和大台阶高度测量的方法，利用该方法进行台阶高度测量时，其测量范围取决于所用干涉光源的中心波长和光谱仪的分辨率，可达mm量级。在原理验证性实验中，利用该方法已经实现了最大高度为298.57μm的台阶高度测量，多次重复测量的标准偏差不超过0.03μm，最大均方根误差为0.94μm，实验测量结果与台阶高度真实值具有很好的一致性。