%0 Journal Article
%T 基于白光频域干涉的大台阶高度测量方法
%A 刘盛刚
%A 陶天炯
%A 马鹤立
%A 翁继东
%A 王翔
%A 李泽仁
%J 强激光与粒子束
%D 2015
%X ？基于白光频域干涉的基本原理，提出了一种可实现高分辨率和大台阶高度测量的方法，利用该方法进行台阶高度测量时，其测量范围取决于所用干涉光源的中心波长和光谱仪的分辨率，可达mm量级。在原理验证性实验中，利用该方法已经实现了最大高度为298.57μm的台阶高度测量，多次重复测量的标准偏差不超过0.03μm，最大均方根误差为0.94μm，实验测量结果与台阶高度真实值具有很好的一致性。
%K 台阶
%K 高度测量
%K 频域干涉
%K 量块
%U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract10703.shtml