高厚度薄膜-泡沫平面调制靶的飞秒激光微加工

？利用数值孔径为0.14的显微物镜聚焦中心波长800nm、脉宽120fs、重复频率1khz的飞秒激光，采用焦点逐线扫描等距下移方式，选取的入射平均功率为30mw，加工速度为300μm/s，对瑞利-泰勒(r-t)不稳定性实验靶用的厚度1.5mm聚苯乙烯（ps）薄膜-聚4-甲基-1-戊烯（pmp）泡沫双层复合长条块体样品进行精确切割成型，并与纳秒激光切割情形对比。结果表明：利用飞秒激光微加工有效控制了切割区变形和材料分层，获得了整齐的切割边缘和平坦的切割面，样品最大切割深度超过800μm。