%0 Journal Article
%T 高厚度薄膜-泡沫平面调制靶的飞秒激光微加工
%A 巫殷忠
%A 黄燕华
%A 尹强
%A 张林
%A 谷渝秋
%J 强激光与粒子束
%P 0-0
%D 2011
%X ？利用数值孔径为0.14的显微物镜聚焦中心波长800nm、脉宽120fs、重复频率1khz的飞秒激光，采用焦点逐线扫描等距下移方式，选取的入射平均功率为30mw，加工速度为300μm/s，对瑞利-泰勒(r-t)不稳定性实验靶用的厚度1.5mm聚苯乙烯（ps）薄膜-聚4-甲基-1-戊烯（pmp）泡沫双层复合长条块体样品进行精确切割成型，并与纳秒激光切割情形对比。结果表明：利用飞秒激光微加工有效控制了切割区变形和材料分层，获得了整齐的切割边缘和平坦的切割面，样品最大切割深度超过800μm。
%K 飞秒激光
%K 微细加工
%K 流体力学
%K 高厚度
%K 切割
%U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract5080.shtml