激光脉冲波形对烧蚀si靶表面温度的影响

？利用双温方程对激光烧蚀si靶的过程进行了数值模拟，并结合合适的初始条件和边界条件，研究了在飞秒、皮秒激光作用下，脉冲波形（矩形、梯形、三角形和高斯形）对si靶表面载流子和晶格温度分布的影响。结果表明：激光功率密度是影响载流子温升的主要因素，矩形脉冲激光烧蚀si靶表面载流子的峰值温度最高，而高斯分布的脉冲引起靶面载流子峰值温度最低。可见，激光脉冲波形对si靶表面载流子的温度分布具有重要影响。所得结果可为制备高质量的薄膜提供理论依据。