%0 Journal Article
%T 激光脉冲波形对烧蚀si靶表面温度的影响
%A 王世俊
%A 王英龙
%A 丁学成
%A 梁伟华
%A 邓泽超
%A 褚立志
%A 傅广生
%J 强激光与粒子束
%P 0-0
%D 2010
%X ？利用双温方程对激光烧蚀si靶的过程进行了数值模拟，并结合合适的初始条件和边界条件，研究了在飞秒、皮秒激光作用下，脉冲波形（矩形、梯形、三角形和高斯形）对si靶表面载流子和晶格温度分布的影响。结果表明：激光功率密度是影响载流子温升的主要因素，矩形脉冲激光烧蚀si靶表面载流子的峰值温度最高，而高斯分布的脉冲引起靶面载流子峰值温度最低。可见，激光脉冲波形对si靶表面载流子的温度分布具有重要影响。所得结果可为制备高质量的薄膜提供理论依据。
%K 激光烧蚀
%K 双温方程
%K 脉冲波形
%K 载流子
%K 耦合时间
%U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract4637.shtml