紫外sc₂o₃薄膜的光学和结构性能表征及其激光作用下的损伤机理

？利用电子束蒸发方法，在不同沉积温度(50~350℃)下制备了sc2o3薄膜。分别用分光光度计，小角掠入射x射线衍射仪和轮廓仪测试了薄膜样品的光谱、微结构和表面粗糙度信息，并用薄膜分析软件essentialmacleod计算了sc2o3薄膜的折射率和消光系数。结果表明：随着沉积温度升高，sc2o3薄膜结晶程度增强，晶粒尺寸增大，且较高的沉积温度有利于获得较高的折射率。最后用355nm，8ns的三倍频nd:yag激光器测试了其激光损伤阈值（lidt），最大值为2.6j/cm2，且阈值与薄膜的消光系数、表面粗糙度、光学损耗均呈现相反的变化趋势。用光学显微镜和扫描电子显微镜表征了该薄膜的破坏形貌，详细分析了薄膜在不同激光能量作用下破坏的发展过程，以及sc2o3薄膜在355nm紫外激光作用下lidt与制备工艺的关系，重点分析了355nm激光作用下薄膜的破坏机理。