%0 Journal Article
%T 紫外sc<sub>2</sub>o<sub>3</sub>薄膜的光学和结构性能表征及其激光作用下的损伤机理
%A 刘光辉
%A 薛春荣
%A 晋云霞
%A 张伟丽
%A 方明
%A 贺洪波
%A 范正修
%J 强激光与粒子束
%P 0-0
%D 2010
%X ？利用电子束蒸发方法，在不同沉积温度(50~350℃)下制备了sc2o3薄膜。分别用分光光度计，小角掠入射x射线衍射仪和轮廓仪测试了薄膜样品的光谱、微结构和表面粗糙度信息，并用薄膜分析软件essentialmacleod计算了sc2o3薄膜的折射率和消光系数。结果表明：随着沉积温度升高，sc2o3薄膜结晶程度增强，晶粒尺寸增大，且较高的沉积温度有利于获得较高的折射率。最后用355nm，8ns的三倍频nd:yag激光器测试了其激光损伤阈值（lidt），最大值为2.6j/cm2，且阈值与薄膜的消光系数、表面粗糙度、光学损耗均呈现相反的变化趋势。用光学显微镜和扫描电子显微镜表征了该薄膜的破坏形貌，详细分析了薄膜在不同激光能量作用下破坏的发展过程，以及sc2o3薄膜在355nm紫外激光作用下lidt与制备工艺的关系，重点分析了355nm激光作用下薄膜的破坏机理。
%K sc2o3薄膜
%K 沉积温度
%K 光学性能
%K 结构性能
%K 激光损伤阈值
%K 破坏机理
%U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract4622.shtml