亚稳态氦原子束在纳米结构制作中的应用

？介绍两种用亚稳态氦原子束制作纳米结构的新方法。亚稳态原子束从原子源喷出后首先对其进行横向激光冷却，准直后的原子束穿过与之垂直的激光驻波场时发生淬火过程，原子的密度分布出现沟道化效应，给出基于光掩模制作纳米图形的基本原理、理论分析及模拟结果。介绍基于物理掩模制作纳米图形的原理和sam抗蚀剂，利用沉积在基底上的亚稳态原子破坏基底上的sam膜，结合刻蚀技术可制作出纳米量级的图形。